當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>掃描電鏡>> CEM3000國(guó)內(nèi)高分辨力掃描電鏡
中圖儀器CEM3000系列國(guó)內(nèi)高分辨力掃描電鏡是一款用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備,。采用的鎢燈絲電子槍控制相對(duì)簡(jiǎn)單,操作容易上手,,不需要專(zhuān)業(yè)的,、長(zhǎng)時(shí)間的培訓(xùn)即可掌握其基本操作技能,適合廣大用戶使用,,尤其是對(duì)于那些沒(méi)有深厚電子顯微鏡操作經(jīng)驗(yàn)的初學(xué)者或非專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō),,更容易快速熟悉和使用設(shè)備,開(kāi)展相關(guān)的檢測(cè)和研究工作,。
不同于立式電鏡,,CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡無(wú)需占據(jù)大量空間來(lái)容納整個(gè)電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,,在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果,。此外,該系列臺(tái)式電鏡也可以進(jìn)入手套箱,、車(chē)廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手,。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺(tái)式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能,。
核心優(yōu)勢(shì)
1,、緊湊靈活,突破空間限制
(1)CEM3000系列國(guó)內(nèi)高分辨力掃描電鏡臺(tái)式設(shè)計(jì),,體積小巧,,輕松擺放在桌面或狹小空間(如手套箱、移動(dòng)實(shí)驗(yàn)室),,節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間,。
(2)支持快速移機(jī),一臺(tái)設(shè)備滿足多場(chǎng)景需求,,助力科研效率提升,。
2、高性能,,納米級(jí)分辨率
(1)空間分辨率優(yōu)于4nm(SE),,支持高達(dá)200,000倍放大,精準(zhǔn)捕捉納米材料,、微流控芯片等樣品的微觀形貌,。
(2)高襯度成像系統(tǒng),快速掃描也能清晰呈現(xiàn)微弱信號(hào),,滿足材料科學(xué),、生命科學(xué)等領(lǐng)域的需求。
3,、抗振防磁,,穩(wěn)定無(wú)懼挑戰(zhàn)
(1)特殊隔振設(shè)計(jì)(CEM3000B搭載復(fù)合抗振系統(tǒng)),消除環(huán)境振動(dòng)與電磁干擾,,保障高倍成像質(zhì)量,。
(2)適用于工業(yè)車(chē)間,、車(chē)載實(shí)驗(yàn)室等復(fù)雜環(huán)境,,穩(wěn)定可靠。
4,、高效便捷,,一鍵智能操作
(1)快速抽放氣技術(shù):低真空模式僅需40秒(CEM3000B),高真空模式最快1.5分鐘,,大幅縮短等待時(shí)間,。
(2)自動(dòng)對(duì)焦、消像散,、圖像增強(qiáng)功能,,一鍵生成高質(zhì)量圖片,降低操作門(mén)檻。
5,、靈活拓展,,滿足多樣需求
(1)可選配低真空系統(tǒng)(5~100Pa),兼容導(dǎo)電/非導(dǎo)電樣品觀測(cè),。
(2)支持二次電子,、背散射電子探頭及能譜儀,搭配顆粒統(tǒng)計(jì),、孔隙率測(cè)量等定制功能,,滿足多領(lǐng)域分析需求。
性能特色
1.高易用性快速成像,、一鍵成片,,無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),,優(yōu)于8nm(BSE)@20kV,。
3.超大景深毫米級(jí)別景深,具有高空間分辨率,。
4.多探測(cè)器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像,。
5.抗振性能優(yōu)異。
應(yīng)用范例
部分技術(shù)指標(biāo)
型號(hào) | CEM3000A(大樣品倉(cāng)型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),,優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測(cè)器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸,、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散,、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì),、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量,、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X,,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn),、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉(cāng)內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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